苏州佳斯轩电子科技有限公司

微纳代工质量好、效率高、价格低 本公司提供微纳代工单步或多步整合工艺代工。     拥有接触式光刻（SUSS）、stepper光刻机、电子束光刻机、热氧化炉、离子注入机（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低应力氮化硅等)、PECVD（SiO2、SiN、BPSG、非晶硅等）、磁控溅射(特殊的有AlN、ZnO、PZT等)、电子束蒸发、深硅刻蚀（刻蚀深宽比10:1）、RIE（刻蚀SiO2、SiN）、晶圆键合（阳极键合、金属键合、胶键合等）、金属电镀、 CMP芯片切割（砂轮划片、激光表切、激光隐形切割）、快速退火、SEM、XRD、EDS、SIMS等等     长期提供高品质、低价格dummy/test/prime级别单晶硅片（2/4/6/8/12寸）、SOI片（4/6/8寸）、BF33（4/6寸）、石英玻璃片、熔融石英片...