价格：
行业分类：机械及行业设备/其他行业专用设备/其它
产品类别：晶圆键合机
品 牌：WAYES-VAC
规格型号：W-JH200
库 存：1
生 产 商：北京维意真空技术应用有限责任公司
产 地：中国北京市大兴区
一、设备组成概述
设备由加压力系统，压力控制系统，加热系统，真空系统，气路系统，电气控制系统，
二、设备技术要求
压力显示精度：±0.1KN
5
真空腔、真空机械油泵，手动角阀，真空计，微正压泄压阀，进气口、进气阀、及进气浮子流量计。
温度可以灵活设置和编程，温控精度：±1%（100℃以下±1℃）；
均匀升温速率：4℃/min（100℃以下）；3℃/min（100℃~200℃）；2℃/min（200℃以上）；快速升温速率：10℃/min；支持温度编程段数：10 段控温；
上下压盘部分采用
规格参数
行业分类：
机械及行业设备/其他行业专用设备/其它
产品类别：
晶圆键合机
品 牌：
WAYES-VAC
规格型号：
W-JH200
库 存：
1
生 产 商：
北京维意真空技术应用有限责任公司
产 地：
中国北京市大兴区
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