价格:
行业分类:机械及行业设备/电热设备/工业烤箱
产品类别:工业烤箱
品 牌:志圣全智能
规格型号:CLQ
库 存:
生 产 商:志圣全智能
产 地:中国广东省深圳市
晶圆无尘无氧化烘烤箱是半导体制造中的关键设备,其技术核心在于通过高纯度惰性气体环境与精密温控系统,彻底隔绝氧气与微粒污染。设备内部采用多层过滤器与密封设计,确保百级乃至十级无尘标准,同时通过快速升降温与均匀热场分布,避免晶圆材料氧化及热应力损伤。此类烘烤箱广泛应用晶圆钝化、合金化及固化工艺中,能够显著提升器件可靠性及良率,尤其适用于第三代半导体材料与先进封装环节。其智能化控制系统还可实时监测工艺参数,与生产线无缝集成,助力芯片制造向更高精度与效率迈进。
规格参数
行业分类:
机械及行业设备/电热设备/工业烤箱
产品类别:
工业烤箱
品 牌:
志圣全智能
规格型号:
CLQ
库 存:
生 产 商:
志圣全智能
产 地:
中国广东省深圳市
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