睿智型中行程闪测仪

SMART Mid-rangeflash imagemeasuring Equipment

型号

Model

测量范围（mm）

Measurement range

运动行程（mm）Travel

外部尺寸（mm）External Size

重量（kg）Weight

承重（kg）

Capacity

S6065D

大视野：650×650×250

X轴570

Y轴600

Z轴250

1595*1085*1965

≈1340

25

光学测量精度(±2σ) (μm)

Accuracy

大视野测量模式：

Wide filed    

无拼接：±3^*1；
Without splicing: ±3^*1；

有拼接：±(5+L/200) ^*2；

With splicing：±(5+L/200) ^*2

重复精度(μm)

Repetition accuracy

大视野测量模式：

Wide filed

无拼接：±1；
Without splicing: ±1；

有拼接：±2；
Splicing：±2；

彩色共焦位移传感器^*3

Chromatic confocal sensor

测量精度(μm)MeasuringAccuracy

±(5+L/200）^*4

测量范围(mm)

Measurement rang

大视野：275×330×250

Widefield:275×330×250

小视野：250×330×250

Small field:250×330×250

动态重复精度(μm)dynamicrepetitionaccuracy

±2^*4

静态重复精度(μm)

Static repetitionaccuracy

±1^*4

说明Remark：

*1.在73×49mm范围内，于调焦点位置，环境温度﹢20±1℃的情况下

Within 73×49mm, based on focal position and environment tem. at 20±1℃

*2.在450×360mm范围内，于调焦点位置，环境温度﹢20±1℃、座标台载重2kg以下时，L为座标台移动量（mm）

Within 450×360mm, based on focal position, environment temperature at﹢20±1℃ and coordinate platform of less than 2kg, L refers to the amount of movement (mm) of coordinate platform

*3.选配彩色共焦位移传感器的情况下。

WithChromaticconfocal sensor.

*4.在0~100mm测量范围内。

In the measuring range of 0~100mm.

工作环境

Operating Environment

温度Temperature：+20±2℃

湿度Humidity：30%-80%（无结凝）

振动Vibration：＜0.002ɡ,15Hz

电源要求Electrical requirements：220V~，50Hz，2200W

序号NO

说明

Description

分项名称

Description

描述及配图（如有）Description

备注

Note

1

机械本体

Machines

闪测仪S6065D主体机

Main part

大理石龙门结构

Marble cantilever structure

2

电机

Motor

伺服电机

servo motor

3

导轨

Guide

精密线性滑轨+交叉滚子导轨

Precision linear guide+Cross Roller Guide Way

4

丝杆

Screw

精密滚珠丝杆

Precision ball screw

5

光栅尺

Scale

高精度光栅尺

High Precision Scale