产品与服务

型号

Model

测量范围（mm）

Measurement range

运动行程（mm）Travel

外部尺寸（mm）External Size

重量（kg）Weight

承重（kg）

Capacity

S2025

大视野：220×200

X轴130

Y轴125

Z轴75

580*430*790

≈55

5

小视野：150×130

光学测量精度(±2σ) (μm)

Accuracy

大视野测量模式：

Wide filed    

无拼接：±3^*1；

Without splicing: ±3^*1；

有拼接：±(5+0.02L) ^*3；

With splicing：±(5+0.02L) ^*3

小视野测量模式：

Small field

无拼接：±1 ^*2；

Without splicing: ±1 ^*2；

有拼接：±(3+0.02L) ^*4；

Splicing：±(3+0.02L)^*4；

序号NO

说明

Description

分项名称

Description

描述及配图（如有）Description

备注

Note

1

机械本体

Machines

闪测仪S2025主体机

Main part

铝铸框架结构

Aluminum cast frame construction

2

电机

Motor

步进电机

Stepper motor

3

导轨

Guide

精密交叉滚子导轨

Precision cross roller guide

4

丝杆

Screw

精密T型丝杆

Precision T typescrew

5

光栅尺

Scale

高精度光栅尺，X、Y轴0.1µm分辨率.

High Precision Scale，X、Yaxis 0.1µm resolution.

6

显示器

Display

显示器Display

21.5英寸  LCD display

(XGA：1920×1080)

21.5” LCD display

(XGA：1920×1080)

7

光学系统

Optical System

相机

Camera

高分辨率工业级2000万像素黑白CMOS

High resolution industrial grade 20million pixels monochrome CMOS

8

镜头

Lens

Φ100mm双视野双远心镜头

Φ100mmDouble field, Bi-telecentric lens