产品与服务

大型龙门金相显微测量仪

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1、机器视觉方案设计、研发和设备制造，让您的生产超越自动化，实现智能化。应用领域：产品外观检测、尺寸测量、装配定位、扫码识别等。

2、自动化生产线制造，智能化方案设计。应用领域：子哦对你好生产线的制造，智能分拣，组装、检测、包装及搬运；

3、光学测量仪器量产机系列：自动化影像测量仪、一键式闪测仪、3D表面形貌轮廓仪、3D超景深显微镜、工具显微镜、粗糙度轮廓仪、金相显微分析及外观尺寸视频一体机

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晶圆几何量测系统可自动测量Wafer厚度、弯曲度、翘曲度、粗糙度、膜厚 、外延厚度等参数。

该系统可用于测量不同大小、不同材料、不同厚度晶圆的几何参数;晶圆材质如碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅、玻璃片等。它是以下测量技术的组合：

光谱共焦技术测量Wafer Thickness 、TTV 、LTV 、BOW 、WARP 、TIR 、SORI 等参数，同时生成Mapping图；

三维轮廓测量技术：对Wafer表面进行光学扫描同时建立表面3D层析图像，高效分析晶圆表面形貌、粗糙度、测量镭射槽深宽等形貌参数；

白光干涉光谱分析仪，可通过数值七点相移算法计算，以亚纳米分辨率测量晶圆表面的局部度，并实现膜厚测量功能；

红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），适用于测量外延片、键合晶圆几何参数。

CCD定位巡航功能，具备Mark定位，及图案晶圆避障功能。

无图晶圆几何量测系统已广泛应用于衬底制造、外延制造、晶圆制造、晶圆减薄设备、晶圆抛光设备、及封装减薄工艺段的量测；覆盖半导体前道、中道、后道整条工艺线。该系统不仅广泛应用于半导体行业，在3C电子玻璃屏、光学加工、显示面板、光伏、等超精密加工行业也大幅铺开应用。

几何尺寸测量的精度，直接决定了工业制造的高度。不论小如芯片，还是大如飞机，精密测量仪器，就像量体裁衣时裁缝的尺子。

这是一架飞机模型，关键部件测量精度必须控制在0.1毫米至0.2毫米之间，飞机的装配才能保证严丝合缝。激光跟踪仪是唯一同时具有微米级别测量精度，和百米工作空间的高性能光电仪器。

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工具显微镜LZ3020GX系列

手动影像仪LZ3020GX系列

正置金相显微镜LZ200M系列

金相显微镜LZ40M系列

金相显微镜LZ/FMX系列

金相显微镜LZ12R系列

倒置金相显微镜LZ200MD系列

倒置金相显微镜LZ30M系列

偏光显微镜LZ200P系列

正置偏光显微镜LZ40P系列

两档变倍体视显微镜LZ1040系列

两档变倍体视显微镜LZ1040N-ST2N系列

体视连续变倍显微镜LZ645/645S

连续变倍体视显微镜LZ745N系列

连续变倍体视显微镜LZ745N-ST2系列

连续变倍体视显微镜LZ6745系列

小型工具显微镜LZ45TR-ST2系列

三目电脑测量显微镜LZ745N系列

高清视频显微镜LZ700系列