价格:
行业分类:环保/原水处理设备/其他原水处理设备
产品类别:
品 牌:汾霖
规格型号:195-3903-0624
库 存:200
生 产 商:中国上海汾霖环保科技有限公司
产 地:中国上海市浦东新区
半导体超纯水设备
半导体超纯水设备
半导体超纯水设备是半导体行业制造出高质量产品的关键设备,主要用于清洗、蚀刻、掺杂等关键环节。超纯水的纯度要求极高,甚至达到了ppb(十亿分之一)级别。超纯水的制备一般可分为前级处理、反渗透(RO)、电渗去离子(EDI)、微过滤(MF)紫外线杀菌、超净过滤(UF)等阶段。
1.半导体超纯水设备的重要性
1.1 半导体超纯水设备是半导体行业制造出高质量产品的关键设备。
1.2 在半导体制造过程中,超纯水被用于清洗、蚀刻、掺杂等关键环节,其纯度要求极高,甚至达到了ppb(十亿分之一)级别。
2.半导体超纯水设备的制备工艺2.1 超纯水的制备一般可分为前级处理、反渗透(RO)、电渗去离子(EDI)、微过滤(MF)、紫外线杀菌、超净过滤(UF)等阶段。
2.2 前级处理的作用是让原水(一般指城市自来水或地下水等)在进入多层介质过滤器(纯化膜组)之前,添加适量的化学试剂(例如次 )以氧化有机物,与高分子聚合物产生凝聚作用,降低原水中的浑浊度及污染指数。
3.半导体超纯水设备的回收再利用3.1 在半导体材料或集成电路工厂的超纯水系统中,采取水的回收再利用处理,可以降低生产运行成本。
3.2 一般要使水的回收率达到70%以
上。
规格参数
行业分类:
环保/原水处理设备/其他原水处理设备
产品类别:
品 牌:
汾霖
规格型号:
195-3903-0624
库 存:
200
生 产 商:
中国上海汾霖环保科技有限公司
产 地:
中国上海市浦东新区
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