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湿电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料,主要用于晶圆、面板、硅片电池制造加工过程中的清洗、光刻、显影、刻蚀、去胶等湿法工艺制程。

电子级严酸是半导体制造过程中应用的化学品之一,用于硅片的sc2清洗工艺中,用于去除及清洗硅片表面的金属,工业级是由氢气及气在合成炉中制得,但在合成过程中,盐掺杂有很多杂质离子,这些杂质离子必须去除才能达到半导体行业的要求。

目前电子级的主要生产工艺为蒸发吸收,工业级蒸发出高纯氯化氢气体,再与超纯水进行混合吸收,蒸发得到氯化氢气体的杂质含量决定了电子级盐的纯度等级。工业级盐中大多数杂质由于其沸点与盐水溶液有较大差距,可通过蒸馏过程去除,砷是电子级盐的重要指标,砷在盐中以氯化砷形态存在,氯化砷由于其沸点与盐接近,难以在蒸发过程分离,造成产品中砷含量高,砷在盐中有三氯砷和五氯化砷两种形态存在,五氯化砷沸点高于三氯砷,对盐中砷的价态进行转变,有利于降低电子级盐中砷的含量。三氯砷向五氯化砷的转化反应过程较为缓慢,且反应的不充分,得到的盐纯度不够高,为此我们提出一种电子级盐除砷装置及方法。

使用混床树脂进行处理,这种树脂具有低离子和金属残留特性、低TOC溶出物,并能提供高纯度的出水。混床树脂具有1:2化学计量当量的阳离子和阴离子交换容量,且无抱团现象,确保了其在首个周期内就能提供优异的性能。这种方法适用于高纯水精处理


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规格参数

  • 行业分类:

    化工/合成树脂/离子交换树脂

  • 产品类别:

  • 品  牌:

  • 规格型号:

    15072572300

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  • 生 产 商:

  • 产  地:

    中国北京市丰台区

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