参数:

主机规格:305mm×365mm×325mm(W×D×H)

靶(上部电极):金:50mm×0.1mm(D×H)

靶材:Au(标配),也可根据实际情况配备银靶、铂靶等

样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H)

靶材尺寸:Ф50mm

真空指示表:最高真空度:≤ 4X10-2 mbar

离子电流表:最大电流:50mA

定时器:最长时间:3600s

微型真空气阀:可连接φ3mm软管

可通入气体:多种

最高电压:-1600 DCV

输入电压:220V(可做110V),50HZ

机械泵:标准配置2L/S(国产VRD-8)


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/其他行业专用设备

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    广州英鹏

  • 规格型号:

  • 库  存:

  • 生 产 商:

    广州英鹏光电科技有限公司

  • 产  地:

    中国广东省广州市

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