价格：
行业分类：机械及行业设备/其他行业专用设备
产品类别：
品 牌：广州英鹏
规格型号：
库 存：
生 产 商：广州英鹏光电科技有限公司
产 地：中国广东省广州市
参数：
主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）
靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au（标配）也可根据实际情况配备银靶、铂靶等
样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）
样品台：可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台
靶材尺寸：Ф50mm
真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
离子电流表：最大电流：100mA
定时器：数码 最长时间：0-360S
微型真空气阀：可连接φ3mm软管
可通入气体：多种
最高电压：-1600 DCV
机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）
输入电压：220V(可做110V),50HZ
规格参数
行业分类：
机械及行业设备/其他行业专用设备
产品类别：
品 牌：
广州英鹏
规格型号：
库 存：
生 产 商：
广州英鹏光电科技有限公司
产 地：
中国广东省广州市
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