参数:

主机规格:300mm×360mm×380mm(W×D×H)

靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×H)

靶材:Au(标配)也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H)

样品台尺寸:可安装直径50mm和直径70mm的样品台,也可根据自身要求定样品台

靶材尺寸:Ф50mm

真空指示表:最高真空度:≤ 4X10-2 mbar


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/其他行业专用设备

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    广州英鹏

  • 规格型号:

  • 库  存:

  • 生 产 商:

    广州英鹏光电科技有限公司

  • 产  地:

    中国广东省广州市

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