1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%

2、真空样品室:直径:160mm,高:110mm

3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm

4.工作真空: 2×10-1—10-1mbar

5.离子电流表:0-50mA

6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间。

7.溅射电压:-1600DVC

8.飞越真空泵(VRD-4):1.1L/S

9.工作室工作媒介气体:空气或氩气等多种气体

10.针阀: 配有进气口,微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管。


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/其他行业专用设备

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    广州英鹏

  • 规格型号:

  • 库  存:

  • 生 产 商:

    广州英鹏光电科技有限公司

  • 产  地:

    中国广东省广州市

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