腔体尺寸

石英玻璃,直径150mm*高度130mm

供电规格

AC220V,200W

溅射电压

MAX 2500V

溅射电流

MAX 30mA

靶材尺寸

直径57mm,厚度0.1~0.5mm

适用靶材

贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,

普通金属Cu、W、Ag、Cr等

样品台可调高度

20-50mm

样品台尺寸

直径55mm

工作真空度

1~20Pa

气体路数

单路

补气流量

手动调节

控制

触屏控制

真空泵

VRD-8


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/其他行业专用设备

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    广州英鹏

  • 规格型号:

  • 库  存:

  • 生 产 商:

    广州英鹏光电科技有限公司

  • 产  地:

    中国广东省广州市

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