产品与服务

熔融石英JGS1基底紫外高反射镜

——专为紫外激光系统设计的高性能光学核心元件

产品概述

本产品是一款专为紫外波段激光系统设计的高性能反射光学元件，采用高品质紫外级熔融石英JGS1作为基底材料，表面镀制精密优化的多层介质反射膜。该反射镜在特定紫外波长具备极高的反射率（通常99%），同时具有极低的吸收与散射损失、优异的热稳定性与抗激光损伤阈值，是构建和引导紫外激光光路、确保系统输出功率与长期稳定性的关键组件。

核心产品特性

1. 卓越的紫外光学性能

• 高反射率：在指定的紫外工作波长处，反射率可达99%以上，有效减少系统光能损失。

• 低吸收与散射：JGS1材料在紫外波段具有优异的透过性且本征吸收极低，结合精密抛光与超净清洗工艺，确保极低的体吸收与表面散射，最大程度减少热效应与杂散光。

• 宽反射带宽可选：可根据系统需求，设计并镀制窄带或相对宽带的反射膜层，以满足不同激光线宽或调谐需求。

2. 优异的物理与环境稳定性

• 高抗激光损伤阈值（LDT）：针对高功率紫外激光进行了膜系与工艺优化，具备较高的抗激光损伤能力，保障在高能量密度下的稳定运行。

• 优异的热稳定性与机械性能：熔融石英JGS1具有极低的热膨胀系数、高硬度和良好的化学惰性，确保反射镜在热负载和复杂环境下的面形精度与性能稳定。

• 高耐久性硬质膜层：采用离子束溅射（IBS）或电子束蒸发（E-beam）等先进镀膜工艺，膜层致密、附着力强，耐擦拭，环境适应性强。

3. 精密加工保证

• 高精度面形控制：提供λ/4 @ 632.8nm或更高精度的表面面形（如平面、球面），确保波前质量。

• 超光滑表面：表面粗糙度可达5 Å RMS，有效降低散射损耗。

• 多种尺寸与形状：可提供圆形、矩形等多种规格，支持客户定制。

主要应用场景

• 紫外激光器谐振腔：作为全反镜或输出耦合镜，是准分子激光器、固体紫外激光器、氦镉激光器等核心腔镜。

• 紫外激光加工与微加工系统：用于引导和聚焦紫外激光光束，应用于半导体加工（如划片、钻孔）、精密打标、LCD修复、科学研究等领域的光路中。

• 紫外光刻与曝光设备：作为光路中的转向镜，要求极高的反射率与稳定性。

• 紫外光谱与分析仪器：用于构建单色仪、光谱仪等设备的光学系统。

技术规格参数（示例：以266nm为中心波长）

使用与维护指南

1. 取放时需佩戴洁净手套，避免直接用手接触光学表面。

2. 建议使用干燥的清洁空气或吹除表面浮尘。如需清洁，请使用光谱级试剂和专用光学擦拭纸/棉签，沿单一方向轻柔擦拭。

3. 储存时应置于干燥、洁净的环境中，推荐使用百级洁净袋或专用镜盒包装。

4. 请避免在可能产生有机物或微粒污染的环境中长期暴露。

我们可根据您的具体系统参数（如波长、入射角、功率/能量密度、尺寸等）提供定制化设计与制造，确保产品在您的紫外激光系统中发挥性能。