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PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学,用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度,以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制,能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度,精准度可达纳米级。   

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪,其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司,其微型光谱仪体积小巧,可对全谱进行快速采集,产品应用广泛,可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业,可进行 Low-E玻璃镀膜检测,ITO玻璃镀膜检测,PET涂布在线膜厚检测,金属表面涂层检测,半导体,LCD膜厚检测等。


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