价格：
行业分类：机械及行业设备/电子产品制造设备/其他电子产品制造设备
产品类别：
品 牌：晨立
规格型号：
库 存：100
生 产 商：晨立
产 地：中国山东省青岛市
用途：
高真空退火炉供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer 的相应工艺。
一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求
4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围: 200~800℃
3、恒温区长度及精度: 600mm，
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、真空度：2*10-4 Pa
规格参数
行业分类：
机械及行业设备/电子产品制造设备/其他电子产品制造设备
产品类别：
品 牌：
晨立
规格型号：
库 存：
100
生 产 商：
晨立
产 地：
中国山东省青岛市
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