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山东锐华氟业有限公司(山东锐华特种设备检验检测有限公司)

联系方式

产品名称:四氟化碳
CAS 号:75-73-0
四氟化碳又称四氟甲烷,氟利昂14;
分子式CF4;
物化性质:

熔点 -183.6℃
沸点 -128.1℃
液体密度 (-130℃)1.613g/cm3
临界温度 -45.67℃
临界压力 3.73MPa
临界密度 7.1dm3/mol

在常温下,四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体,具有很高的稳定性,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水。属于完全不燃性气体。

应用:
四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。

山东锐华氟业产品质量指标:
CF4产品质量标准

项目 指 标
CF4, %(V/V)≥ 99.999 99.995 99.99
N2, 10-6(V/V) ≤ 4 20 40
O2, 10-6(V/V) ≤ 1 5 10
CO2, 10-6(V/V) ≤ 1 5 10
CO, 10-6(V/V) ≤ 0.3 0.5 1
SF6, 10-6(V/V) ≤ 1 1 5
H2O, 10-6(V/V) ≤ 1 5 10
HF, 10-6(V/V) ≤ 0.1 0.3 0.3
TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8),10-6(V/V) ≤ 1 10 30
总杂质含量 ppm (V/V) ≤ 10 50 100

产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装,满足不同用户需求。

钢瓶规格 DOT/48.8 L DOT/47L 40L 10L 4L
瓶阀型号 CGA580(正丝) CGA590(反丝) CGA320 DISS716

CAS NO:75-73-0

EC NO:200-896-5

分子式:CF4

分子量:88

别 名:;四氟甲烷;

结构式:四氟化碳 75-73-0


详情:

规格参数

  • 行业分类:

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  • 规格型号:

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