真空吸附卡盘

•  不锈钢卡盘台尺寸4",平整度5μm,带3个真空吸附孔

•  不锈钢卡盘台尺寸6"、8"、12",平整度5μm,带4个真空吸附孔

•  静音无油气泵,7 升 / 分钟,可连续工作

恒温真空吸附卡盘

•  铝合金盘台尺寸4"、6"、8",平整度5μm。

•  带3-4个真空吸附孔

•  静音无油气泵,7 升 / 分钟,可连续工作

•  可通水或气体循环冷却

•  含加热功能,最高加热温度300摄氏度,控温精度±1度,显示精度0.1度,

有效区域内温度均衡性±5度。

•  可选配制冷功能,最低温度-130摄氏度(真空环境下)。

•  具备快速冷功能,配置水冷却接口,可连接冷水机实现快速降温的功能。


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/其他行业专用设备/其它

  • 产品类别:

    晶圆探针台

  • 品  牌:

    WAYES-VAC

  • 规格型号:

    W-KP4

  • 库  存:

    1

  • 生 产 商:

    北京维意真空技术应用有限责任公司

  • 产  地:

    中国北京市大兴区

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