SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机
真空腔室:采用立式方形结构,前门为水平滑开式,位于手套箱体内部,前开门便于蒸发材料和样片在保护环境下装卸,后开门便于真空室的清理维护(后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离),整机位于手套箱体下面,节约占地面积;
真空系统:国产分子泵作为主抽泵,真空极限高达2.0✕10-5Pa,另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵,真空极限高达3.0✕10-6Pa;
真空抽速:大气~5✕10-4Pa≤30min(手套箱环境中);
基片台:最大120mm基片/15~25mmITO/FTO玻璃25片,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板,基片台公转,转速0~20r/min可调,衬底可选择加热(室温~300℃可调可控)或水冷,基片台可选升降,源基距最大350mm;
蒸发源及电源:4~6组欧美技术金属或有机束源炉蒸发源可选,多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜,功能强大,性能稳定;真空专业蒸发电源,恒流/恒功率控制,电流、功率可以预先设置,可实现一键启动和停止的自动控制功能;
膜厚监控仪:采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;
控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空。


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/其他行业专用设备/其它

  • 产品类别:

    镀膜机

  • 品  牌:

    WAYES-VAC

  • 规格型号:

    SEV-400

  • 库  存:

    1

  • 生 产 商:

    北京维意真空技术应用有限责任公司

  • 产  地:

    中国北京市大兴区

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