EV-246小型电阻蒸发镀膜机

真空腔室:1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接,上开盖和前开门结构;

真空系统:机械泵+分子泵(进口和国产可选);

极限真空:优于8✕10-5Pa(设备空载抽真空24h);

真空抽速:大气~8✕10-4Pa≤30min;

基片台:可拆卸式,尺寸60✕60mm,旋转0~20r/min可调,可加热至300℃(可选水冷功能);

蒸发源及电源:水冷铜电极3组,逆变式蒸发电源,功率2KW,配源间防污隔板;

膜厚监控仪:采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;

控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空;

整机尺寸:L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架,预留1个CF35法兰接口。


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/其他行业专用设备/镀膜机

  • 产品类别:

    镀膜机

  • 品  牌:

    WAYES-VAC

  • 规格型号:

    EV-246

  • 库  存:

    1

  • 生 产 商:

    北京维意真空技术应用有限责任公司

  • 产  地:

    中国北京市大兴区

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