产品与服务

VT6000共聚焦扫描显微镜是中图仪器推出的一款微观3D测量仪器，能够对太阳能电池片微观结构进行三维形貌重建。具有测量精度高、全自动化、快速测量、处理数据便捷等优点。

VT6000共聚焦扫描显微镜太阳能电池板表面缺陷光学检测仪器，以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

产品功能
1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；
2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；
3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；
4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

在太阳能电池制作工程中，栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力，直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测，软件具备对视场内的栅线自动测量功能，能够对扫描获取的三维轮廓进行多剖面分析，计算出每个剖面的栅线高度及宽度尺寸。


此外，太阳能电池制作过程中，制绒作为关键核心工艺，金字塔结构的质量影响减反射陷光效果，是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力，能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建，并由专用分析模块自动获取绒面上每个金字塔的体积，比表面积等信息，计算出单位面积金字塔数量和不同尺寸金字塔的比例。

共聚焦显微镜是一款可以为太阳能行业实验室和生产过程检测需求服务的高性能检测设备，提供从二维到三维的多尺度检测手段，将会在太阳能电池加工过程中发挥越来越重要的作用。

VT6000共聚焦扫描显微镜广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。