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157 nm滤光片是一种深紫外(DUV)超窄带干涉滤光片,中心波长157 nm±1 nm,半高宽≤10 nm,峰值透过率≥15 %,OD6@157±15 nm,专为F2准分子激光(157.6 nm)系统设计。基片选用高纯度CaF₂或MgF₂单晶,表面镀低损耗LaF₃/MgF₂多层介质膜,粗糙度<0.5 nm RMS,可承受>1 J/cm²脉冲激光;1000级洁净室封装,适用于157 nm光刻、晶圆缺陷检测、光谱计量与深紫外拉曼等高端场景。


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    仪器仪表/光学仪器/滤光片、滤色片

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    新兆光电

  • 规格型号:

    可打样

  • 库  存:

    2000

  • 生 产 商:

    新兆光电

  • 产  地:

    中国广东省深圳市

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