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这家SiC衬底企业获数亿元D轮融资,第三代半导体材料市场爆发在即!

在半导体行业中,高纯石墨主要是作为加热系统、保温罩、电极等存在,采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温这一特点。高纯石墨的耐腐蚀、抗氧化、导电导热的优点应用到了半导体工业中,使工件使用寿命更长、更加减磨省电。我司主要采用德国半导体等级石墨材料,精密制作离子注入用石墨耗材,提供标准件及客制化规格。

高纯度石墨根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数材料,对离子、等离子具有较强的抗轰击能力,很强的抗腐蚀性,纯度高没有金属离子不会对半导体产生污染,金属部件显露在离子注入设备中会造成高的损耗,故这时应用相应的石墨件来作隔离罩。用于等离子cvd用部件等离子vcd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、movcd感受器等。


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    冶金矿产/非金属矿物制品/石墨及碳素产品

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    弘信新材

  • 规格型号:

  • 库  存:

  • 生 产 商:

  • 产  地:

    中国浙江省宁波市

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