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新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统做出来,采用了VMM 公司的设计和技术。

, 新款Precis 包含了很多可配置选项,使设备靠。

扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm

透射照明

完整电子绘图– 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准

符合人体工程学的操作员控制台,带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合

全自动显微镜,所有设置计算机控制

某佳分辨率像素摄像头

VIEW Metrology Software (VMS™)可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。

MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.

标准 可选

X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 载重: 12 kg

XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um

Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

分辨率: 0.01 微米

视场测量精度和重复性:0.01 μm (100x)

直流伺服马达驱动


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    仪器仪表/量仪/三坐标测量机

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    VIEW

  • 规格型号:

    Precis 200

  • 库  存:

    100

  • 生 产 商:

    美国

  • 产  地:

    中国广东省东莞市

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