价格：
行业分类：机械及行业设备/其他行业专用设备/镀膜机
产品类别：
品 牌：光驰
规格型号：otfc-1800
库 存：2
生 产 商：光驰
产 地：中国江苏省苏州市
工厂转让一台光驰otfc-1800/1550真空镀膜机
销售技术杨经理：18103045976
石英晶振膜厚计XTC/3+6点式石英晶体传感器
蒸发源电子枪2套
离子源23cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
机械性能：
达到压力7.0×10-5Pa 以下
排气时间20分（大气压～1.3×10-3Pa)
基板温度最高：350℃
设备尺寸约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
工作条件：
电源3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约11200kg
机械特点：
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格参数
行业分类：
机械及行业设备/其他行业专用设备/镀膜机
产品类别：
品 牌：
光驰
规格型号：
otfc-1800
库 存：
2
生 产 商：
光驰
产 地：
中国江苏省苏州市
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