联系方式

卖家服务时间

9:00--17:00

系统构成

基片伞架

球状伞架(Φ718、Φ950、Φ1200、Φ1400、Φ1700)、锥形伞架、平板夹具、反转夹具

光学式膜厚计

OPM-Z1

水晶式膜厚计

XTC/3S、IC/6

电脑系统

SDC-I

蒸发源

电子枪方式、电阻加热方式

坩埚

φ35/φ40坩埚

离子源

NIS-175、NIS-120、离子束辅助镀膜、离子束清洗

设备性能

排气时间

达到2×10-3Pa不超过10分钟(基片温度设定为300℃)

极限真空压

不超过5×10-5Pa

基片加热温度

常用250℃

膜厚分布

Δnd<±1.0%(按本公司标准发货基准)

安装条件(例)

ACE-1350S

所需电力

三相 200V±10% 约70kW(最大电力)

所需冷却水

约72L/min、18〜25℃(标准20℃)

所需压缩空气

不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)

安装面积

W5150mm×D7000mm×H3150mm,顶棚高度不低于3500mm

总重量

约7600kg



详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/其他行业专用设备/镀膜机

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    南光

  • 规格型号:

    1100

  • 库  存:

    2

  • 生 产 商:

    南光

  • 产  地:

    中国江苏省苏州市

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