广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510,均匀性高的电极构造,操作简单的触摸屏控制器,适用于研究开发的小型等离子清洗机。

仪器特点:

DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)。

RIE模式。

均匀性高的电极构造。

操作简单的触摸屏控制器。

型号

PDC200

PDC210

PDC510

等离子模式

RIE(DP模式选配)

电极构造

平行平板(固定)

高频输出

300W

500W

频率

13.56MHz

反应腔尺寸

W400xD250Lx150mm

W500xD300Lx200mm

电极尺寸

W250xD170mm

W400xD200mm

反应室材质

2系统(Ar、O2)

填充气体

N2或干燥空气

反应气体流量控制

流量计

聚合控制器

真空泵

另行选配

油泵(约345L/分)标配

油泵(500L/分)标配

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个

外形尺寸

W540xD600xH600mm

W540xD600xH600mm

W700xD700xH1285mm

重量

约100KG

约105KG

约180KG

电源

单相AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于等离子清洗机的信息,欢迎来电咨询。


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    机械及行业设备/商业专用设备/其他商业专用设备

  • 产品类别:

    实验室仪器

  • 品  牌:

    雅马拓YAMATO

  • 规格型号:

    PDC510

  • 库  存:

    300

  • 生 产 商:

    雅马拓YAMATO

  • 产  地:

    中国广东省广州市

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