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喷涂氧化钛/氧化锆靶材Spray TiOx/ZrOx Target

产品说明Product description

以等离子体为热源将相应粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度TiOx,ZrOx靶材。

With plasma as the heat source, high purity high density TiOxamd ZrOxtargets are produced from respective powders, which are heated to molten or semi-molten state and deposited on the surface of backing tube at high speeds to form dense coatings.

氧化钛靶材TiOxtarget

项目Item

参数Specifications

检测手段

Testing method

纯度Purity

≥99.9%

密度Density

≥4.0 g/cm3

阿基米德密度仪

Archimedes densimeter

杂质含量

Impurities

SiO2:≤100ppm

P2O5: ≤10 ppm

SO2: ≤60 ppm

Cu: ≤18 ppm

Fe: ≤80 ppm  

杂质总和(Total impurity):≤1000 ppm

化学分析

Chemical analysis

电阻率Electrical resistivity

≤50 mΩ∙cm

四探针电阻率仪

Four probe resistivity meter

氧化锆靶材ZrOxtarget

项目Item

参数Specifications

检测手段Testing method

纯度Purity

≥99.9%

密度Density

≥5.4 g/cm3

阿基米德密度仪

Archimedes densimeter

杂质含量

Impurity content

Al: ≤100 ppm

Cr: ≤50 ppm

Ti: ≤100 ppm

Fe: ≤200 ppm  

杂质总和(Total impurity):≤1000 ppm

ICP

电阻率Electrical resistivity

≤0.5 Ω∙cm

四探针电阻率仪

Four probe resistivity meter

背管材质Backing tube

-选用304/316L不锈钢(无磁)。

304/316L stainless steel (non-magnetic).

靶材尺寸Dimension

-按照图纸要求加工

According to customized drawings.

应用领域Applications

-光学玻璃AR膜系AR films of optical glasses

-LOW-E镀膜玻璃LOW-E glasses

-工具镀膜和装饰镀膜Tool and decorative coatings


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    化工/陶瓷

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    拓吉泰

  • 规格型号:

    旋转靶/平面靶

  • 库  存:

    10000

  • 生 产 商:

    安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司

  • 产  地:

    中国安徽省合肥市

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