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喷涂氧化铌靶材Spray NbOxTarget

产品说明Product description

以等离子体为热源将Nb2O5粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度NbOx靶材。

With plasma as heat source, high purity and high density NbOxtarget is produced from Nb2O5powder, which is heated to molten or semi-molten state and deposited on the surface of backing tube at high speeds to form dense coatings.

项目Item

参数Specifications

检测手段Testing method

纯度Purity

≥99.9%

密度Density

≥4.7 g/cm3

阿基米德密度仪

Archimedes densimeter

杂质含量

Impurities

Ta:≤200 ppm

Si:≤80 ppm

Fe:≤80 ppm

Al:≤30 ppm

W:≤30 ppm

Cu: ≤30 ppm

杂质总和(Total impurity):≤1000 ppm

化学分析

Chemical analysis

电阻率Electrical resistivity

≤0.2 Ω∙cm

四探针电阻率仪

Four probe resistivity meter

建议功率

Recommended power

15 kw/m

背管材质Backing tube

-选用304/316L不锈钢(无磁)。

304/316L stainless steel (non-magnetic).

靶材尺寸Dimension

-按照图纸要求加工

According to the customized drawings.

应用领域Applications

-主要用于LOW-E镀膜玻璃,薄膜太阳能电池电极膜系,TFT-LCD,半导体电子。

LOW-E glasses, electrodes of thin film solar cells, TFT-LCD, semiconductor devices.


详情:

规格参数

  • 行业分类:

    化工/陶瓷

  • 产品类别:

  • 品  牌:

    拓吉泰

  • 规格型号:

    旋转靶/平面靶

  • 库  存:

    10000

  • 生 产 商:

    安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司

  • 产  地:

    中国安徽省合肥市

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