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行业分类：电子元器件/半导体材料
产品类别：
品 牌：
规格型号：
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生 产 商：
产 地：
SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。
规格参数
行业分类：
电子元器件/半导体材料
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