产品介绍

序号电子混合气体汇总
1二氯硅烷(DCS)5000ppm + N2; 二氯硅烷(DCS) 15ppm + N2 
2二氯硅烷(DCS)10 ppm + 三氯硅烷(TCS)10 ppm + 氦
3HCl 50ppm + 二氯硅烷(DCS)1000ppm + 平衡He
4硅烷1% + 二氯硅烷(DCS)1% + 三氯硅烷(TCS)1% + 四氯化硅1% +氮 
5硅烷50ppm + 三氯硅烷(TCS)1000ppm + He
6三氯硅烷(TCS) 15ppm + N2
7乙硅烷(Si2H4) 100ppm ~ 200ppm + H2
8乙硅烷 10ppm + He
9CO2 5ppm + 硅烷135ppm + 乙硅烷 1000ppm + He
10SiH4 5ppm ~ 15%+Ar(H2/N2/He)
11

H2 5ppm + Ar 5ppm +N2 5ppm +CO 5ppm +
CH4 5ppm + CO2 5ppm + 硅烷 1000ppm 的平衡He

12乙硼wan50~100ppm + H2
13砷烷 100ppm~0.7% + H2
14锗烷 1%~10% + H2
15三氯化硼1%~5% + N2(He)
16PH3 0.8ppm ~ 500ppm + He(H2)
17HCl 9ppm~50% + N2
18NF3 99.99% 180g~1500g
19NF3 20ppm~30ppm + Air
20NF3 15ppm + N2
21CF4 80% + O2
22Ar 5ppm~80% + Ne(H2/He/N2)
23Kr 8%~50% + Ar
24Ne 80%~97% + Ar



详情:

规格参数

  • 行业分类:

    化工/气体

  • 产品类别:

    混合气体

  • 品  牌:

    尚澜特气

  • 规格型号:

  • 库  存:

    9999

  • 生 产 商:

  • 产  地:

    中国上海市奉贤区

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