产品与服务

对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
运行数据监控形成的运行安全性
分子泵安装角度可选 0-90°或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统

型号

HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-K

HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-F

HiPace 2300 TC 1200
DN 250 CF-F

Ar 压缩比

>1X10⁸

>1X10⁸

>1X10⁸

H₂压缩比

2X10⁴

2X10⁴

2X10⁴

He 压缩比

3X10⁵

3X10⁵

3X10⁵

N₂ 压缩比

>1X10⁸

>1X10⁸

>1X10⁸

最大预抽真空, N₂ hPa

1.8

1.8

1.8

Ar全转速时气体流量hPa l/s

16

16

8

H₂ 全转速时气体流量hPa l/s

>50

>50

30

H_e全转速时气体流量hPa l/s

>30

>30

16

N₂ 全转速时气体流量hPa l/s

28

28

11

操作电压 V AC

90-265

90-265

90-265

最大电流 A

10

10

10

允许最大磁场 mT

7

7

7

Ar抽速l/s

1800

1800

1800

H₂ 抽速l/s

1850

1850

1850

H_e 抽速 l/s

2000

2000

2000

N₂ 抽速l/s

1900

1900

1900

转速 ± 2 % rpm

31500

31500

31500

启动时间 min

4

4

4

极限真空 hPa

1X10-7

1X10-7

5X10-10

重量 kg

35.5

36.6

51.8

进气口

分子泵控制器

I/O接口

集成电源包

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DN 250 ISO-K

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 250 CF-F

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 250 ISO-F

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 250 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程

是

中文 PDF

DN 250 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

是

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DN 250 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

是

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进气口

分子泵控制器

I/O接口

集成电源包

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DN 250 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

是

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进气口

分子泵控制器

I/O接口

集成电源包

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DN 250 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

是

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进气口

分子泵控制器

I/O接口

集成电源包

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DN 250 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程

是

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DN 250 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

是

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DN 250 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

是

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DN 250 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

是

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DN 250 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

是

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